2023-01-05TAG:NIL壓印抗蝕劑所示蝕刻

a）線路和通徑的EPE示意圖b） EPE預算細目對於NIL，使用單一曝光步驟，術語變得更加簡化如下：OPC條款：無需OPC疊加精度：單一圖案的應用為無重疊提供了更多的預算LCDU：良好的區域性CDU由壓印掩模CDU和降低的線寬粗糙度驅動GC...