2022-03-20TAG:晶圓拋光表面晶棒工藝流程

晶圓點碼磨片晶圓的表面要十分的平整和規則，不能有一點點損傷，再進行光刻工藝把所需的電路投影到表面上，如果表面出現一點的不平整，投影圖案就會扭曲缺失，整個晶圓上的晶片效能就會大打折扣...