汽車技術講座:半導體積體電路晶圓檢測2022-02-20TAG:晶圓半導體晶片製造高精密在高精密直線傳動領域擁有豐富研發和製造經驗的CRONUS的半導體氣浮平臺,可以說是為工業自動化和精密測量打造了智慧的“武器”,它能達到重複定位精度±15nm,最大行程350mm,最大速度1200mm/s,最大加速度20m/s,這款精密氣浮平...